
国家知识产权局信息显示,华虹集成电路(成都)有限公司申请一项名为“研磨机台晶圆滑出探测设备抗干扰侦测方法”的专利,公开号CN121340124A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本申请提供一种研磨机台晶圆滑出探测设备抗干扰侦测方法,采用双光路光强比值检测通过主光路和参考光路的信号比消除共模干扰,结合双光路光强比值的静态均值与动态导数分析,仅当静态和动态条件同时满足时触发机台报警。极大地减少了晶圆滑出探测设备的误侦测报警,减少了因为误报警导致的晶圆氧化报废,以及减少了工程师处理机台报警的额外负担。
天眼查资料显示,华虹集成电路(成都)有限公司,成立于2023年,位于成都市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2280000万人民币。通过天眼查大数据分析,华虹集成电路(成都)有限公司参与招投标项目131次,财产线条,此外企业还拥有行政许可119个。
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